一、照明光路系統

1、金相顯微鏡一般都有專門的反射光照明光路（因為觀察的試樣是不透明的），而且照明光通過半反透鏡后經物鏡照射到試樣表面，反射回來后經過物鏡目鏡再到人眼里成像，所以物鏡代替了科勒照明系統中的聚光鏡的作用。從原理上看，這種照明屬于同軸照明，即照明光和反射光同在一個主光路中。

2、體視顯微鏡一般使用外部光源，有側向的鹵素燈斜射照明，有環形LED燈照明，但是這些照明方式都不是同軸照明，他們的照明光都是從側面斜射，與主光軸有一定的夾角，原理上和金相顯微鏡的暗場照明有點像。另外，有部分體視顯微鏡也有同軸照明光源，但體視鏡同軸照明有一定的局限性，如果設計不當就會產生眩光，這就需要加上特殊附件或鏡片予以消除。

二、放大倍數

1、金相顯微鏡物鏡的放大倍數在1.25倍以上，100倍以下，目鏡的放大倍數在10X到20X之間，因此，金相顯微鏡的總放大倍數在12.5X到2000倍之間。

2、體視顯微鏡的倍數差異挺大，如果是普通檢驗用的體視顯微鏡，倍數一般在0.5倍到100倍之間，如果是研究級的顯微鏡，在提高光學質量的同時，放大倍數也會提高到200倍到400倍左右。

三、機架和調焦機構

1、金相顯微鏡機架一般比較大，但由于金相顯微鏡是做高倍檢驗用的，它可以放置試樣尺寸一般比較小，而且一般要求試樣表面比較平，需要制樣磨平拋光腐蝕，這一點上倒置金相顯微鏡除外，雖然也需要制樣，但它對試樣的尺寸幾乎沒有限制，好的倒置金相顯微鏡可以放置大約10公斤多重的試樣。另外正置金相顯微鏡調焦機構是升降載物臺（也有少數正置顯微鏡和測量顯微鏡是通過特殊附件升降物鏡），倒置金相調焦機構是升降物鏡。

2、體視顯微鏡的機架尺寸一般比較小，但是如果配合大尺寸移動機架，它可以檢查不同尺寸的試樣，包括直接檢查生產線上的產品，所以它對試樣要求很低，也不需要專門制樣，只要制樣表面大概平就可以了。因為體視鏡比較輕，體視顯微鏡調焦方式一般都是升降整個光路主機。